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SC-1B標(biāo)準(zhǔn)型勻膠機(jī)主要于半導(dǎo)體硅片、晶片、ITO導(dǎo)電玻璃、光學(xué)玻璃等工藝制版及表面涂覆，各種光刻膠表面膜制備。
采用變頻技術(shù)控制旋涂速度與時(shí)間，有效控制膠的厚度、均一性。可應(yīng)用于各研究領(lǐng)域前期研發(fā)及小規(guī)模生產(chǎn)。
主 要 技 術(shù) 指 標(biāo)1. 控制顯示：LED數(shù)字控制器，用戶可通過控制器進(jìn)行參數(shù)修改設(shè)置
2. 勻膠模式：可同時(shí)輸入七組數(shù)值，即轉(zhuǎn)速及勻膠時(shí)間可任意設(shè)置為Ⅰ檔、Ⅱ擋、……Ⅶ檔，轉(zhuǎn)速啟動后先低速運(yùn)轉(zhuǎn)（Ⅰ檔），然后自動執(zhí)行Ⅱ檔、……Ⅶ檔，直至達(dá)到高速運(yùn)轉(zhuǎn)。
3．勻膠時(shí)間：1～9999s任意時(shí)間可設(shè)置
4．勻膠速度：0～8000rmp可調(diào)
5．旋轉(zhuǎn)加速度：0～8000rpm/sec 由低速到高速加速時(shí)間0.1s～0.5s
6．轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：±1rmp
7．涂膠均勻性：±3%
8．可鍍膜尺寸：Ф5～Ф150mm（6〞）
9．基片厚度： ≤5mm
配 置 參 數(shù)1．設(shè)備配置Ф200mm接膠裝置
2．電機(jī)功率：90W，額定轉(zhuǎn)速8000rmp
3．真空泵：FY-1C旋片式真空泵，抽速60L/min(用戶可選配無油型真空泵)
4．樣片托：標(biāo)配1英寸一個(gè)，2英寸一個(gè)，其它規(guī)格按要求定制
5．輸入電源： AC220V/240V 50HZ
6．整機(jī)功率：100W
7．機(jī)身尺寸： 280×360×240mm
8．機(jī)身重量：10Kg
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